等离子系统,等离子清洗机，等离子去胶机,等离子活化机 Trymax NEO 2000系列

Ø  北京亚科晨旭科技有限公司成立于1998年

Ø  业务领域：半导体前道设备、微电子封装设备、电装设备

Ø  公司宗旨：专业服务•全面服务

  Trymax 等离子系统,等离子清洗机，等离子去胶机,等离子活化机  Trymax NEO 2000 Series 2000自动系列

应用范围：

半导体工艺活化、去胶、清洗等

产品主要特点：

灵活性强，拥有8/12寸设备供选择，同时又可以提供半自动和全自动设备

稳定低温活化、清洗工艺

发射源选择性强，总共提供四种不同的发射源

稳定成熟的低温工艺

• 特征

- 100-150-200毫米晶圆尺寸/基板尺寸

- 3个或4个料盒或2个集成的SMIF。

- 5轴双臂机机械手，具有特定的晶片夹具

- 选择4个不同的流程模块：

   •微波（2.45 GHz）

   •RF（13.56MHz）

   •双源（微波，射频）

   •DCP（RF，直接耦合等离子体）

- 优异的均匀性和重复性

- 产能> 100wph

- 基于Windows的工业计算机