该设备主要用于LTCC带膜生瓷片冲孔。
主要性能指标:
工艺:带膜工艺
可打孔生瓷片尺寸:8″×8″ 203x203mm,兼容6″×6″ 152x152mm
可加工生瓷片厚度:t0.03mm-0.4mm,生瓷厚度300um,背膜Mylar 或PET膜100um
有效冲孔面积:8″方片为180 x 180mm;6″方片为130mm x 130mm
注意:使用真空吸附工件框,Sheet两边需留出各10mm给吸附和避让冲头用。
基准孔位置可在工件框上开挖避让孔。
冲孔精度:±5 um/□180mm
可装冲头数目: 8个
圆孔孔径范围:φ0.06mm~φ3.0mm
方孔的尺寸范围:1mm – 3mm方孔圆角
冲头的更换时间: 10分钟
冲头的寿命:取决于生瓷片厚度和背膜厚度。较长使用寿命大于1千万次。(取决于生瓷片的类型、厚度和背膜的类型、厚度,冲孔速度,冲针和冲模的清洁程度)