企业信息

    北京亚科晨旭科技有限公司

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  • 公司认证： 营业执照已认证
  • 企业性质：有限责任公司
    成立时间：2005-11-28
  • 公司地址： 北京市 酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
  • 姓名： 绍兵
  • 认证： 手机未认证 身份证未认证 微信未绑定

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    EVG®560 自动晶圆键合系统

  • 所属行业：电子 电子产品制造设备
  • 发布日期：2023-06-02
  • 阅读量：29
  • 价格：面议
  • 产品规格：不限
  • 产品数量：10.00 台
  • 包装说明：不限
  • 发货地址：北京  
  • 关键词：*键合,晶圆键合

    EVG®560 自动晶圆键合系统详细内容

    EVG®560  Automated Wafer Bonding System

    EVG®560  自动晶圆键合系统

     

    全自动晶圆键合系统，用于大批量生产

     

    EVG560自动化晶圆键合系统较多可容纳四个键合室，并具有各种键合室配置选项，适用于所有键合工艺和300 mm的晶圆。 EVG560键合机基于相同的键合室设计，并结合了EVG手动键合系统的主要功能以及增强的过程控制和自动化功能，可提供高产量的生产键合。 机器人处理系统会自动加载和卸载处理室。


     

    特征

    全自动处理，可自动装卸粘合卡盘

    多达四个键合室，用于各种键合工艺

    与包括SmartView的EVG机械和光学对准器兼容

    同时在**部和底部快速加热和冷却

    自动加载和卸载粘合室和冷却站

    远程在线诊断

     

    技术数据

    加热器尺寸：150、200、300毫米

    装载室5

    轴机器人

    键合模块4



    http://pat22076.b2b168.com
    欢迎来到北京亚科晨旭科技有限公司网站， 具体地址是北京市酒仙桥路14号兆维大厦6层616室，老板是彭辉。 主要经营光刻机、原子力显微镜、白光干涉仪、半导体设备。 单位注册资金单位注册资金人民币 1000 - 5000 万元。 我们公司主要供应光刻机,原子力显微镜,白光干涉仪,半导体设备等产品，我们的产品货真价实，性能可靠，欢迎电话咨询！