Camtek光学检测系统--Falcon 500PD系列

Camtek光学检测系统---Falcon 500PD系列

康代公司是一家美国纳斯达克上市公司，致力于生产高科技的自动光学检测设备，为微电子，半导体封装与印刷线路板（PCB）提供高智能的自动光学检测系统。公司的自动光学检测仪为较新科技的高效能自动光学检测系统，其*有的软件系统、先进的光电和机械系统，可为客户提供优异的侦测能力，广泛应用于晶圆表面2D和3D的检测，PCB内层、外层蚀刻线路及干膜显影板等的检测，产品涵盖了从晶圆生产到印刷电路板生产各个阶段的产品的检测。

应用：

     Falcon 500PD是一款先进的光学检测系统，可提供同级良好的划片后缺陷检测。主要用于检测检查表面缺陷和探针标记缺陷、凸点尺寸和位置偏差及分割相关缺陷，以确保无缺陷的出厂封装。

特点：

u 产量高，扫描速度快，虚拟对准和 

u 根据特定区域检查参数的定义控制检测灵敏度 

u 检查之前所有工艺产生的缺陷，包括划片时的缺陷

u 用于探针标记检测的专门算法来检查标记尺寸偏差、多探针标记、与焊盘边缘接近程度等

u 明暗视野照明，以便更好的定义缺陷边缘

u 划片界限规则性检测

技术参数：

测试能力范围          晶粒切割相关的缺陷检测；表面测量包括特征尺寸和位置测量；贴装硅片切割前后测试标记和墨水标记的测量；

全部**检测或抽样测量

高度灵敏度            CTS实现微米级高度和共面性测量      

晶圆尺寸：            200mm晶圆                    300mm晶圆

设置

参考：                从生产的硅片中自动生成

在线和离线：          根据缺陷类型和区域，用户自定义检测参数

                          交互式自动程序，便于检查定义区域

                         无须重新扫描即可用虚拟扫描实现设置结果

检查和分类

模式：                全自动、半自动和手动合并而成实时单色图像

智能捕捉：            自定义预设的缺陷类型，数量和位置，以尽量减少抓住和验证时间，优化缺陷类型的图像质量

离线平台：            基于PC的平台可方便的对扫描中或扫描后的缺陷图像捕捉进行查看和分类

输出：                Camtek SPC软件包可以在线或单机安装