Camtek光学检测系统---Condor100系列

Camtek光学检测系统---Condor100系列

康代公司是一家美国纳斯达克上市公司，致力于生产高科技的自动光学检测设备，为微电子，半导体封装与印刷线路板（PCB）提供高智能的自动光学检测系统。公司的自动光学检测仪为较新科技的高效能自动光学检测系统，其*有的软件系统、先进的光电和机械系统，可为客户提供优异的侦测能力，广泛应用于晶圆表面2D和3D的检测，PCB内层、外层蚀刻线路及干膜显影板等的检测，产品涵盖了从晶圆生产到印刷电路板生产各个阶段的产品的检测。

应用：

Condor 100针对电性测试前后的芯片，提供了在批量生产的情况下实现对表面缺陷的检测。该设备设计用来确保性能优良的晶粒的生产，可实现**的检测。

特点：

u 创新的成像技术，能够化的提高检测限

u 可控和独立的明场和暗场照明通道，以及先进的算法使设备具备很高的TPT/灵敏度

u 测试标记检测和CMOS图形传感器检测的工业标准

u 缺陷自动检测和分类

u 测试标记的深度轮廓检测

技术参数：

2D检测

测试能力范围：        检测表面缺陷，测试标记，特征尺寸和位置测量， 晶圆检测前后的墨水印记。

**检测或抽样检测

分辨率：              多种放大倍数提供的灵敏度—TPT

区域编辑：            针对每个区域的检测算法以达到灵敏度

多菜单处理：          可以在一次扫描周期内使用不同的焦距，倍数，光源，灵敏度和检测引擎实现连续扫描

测试标的：            凸点，RDL，通孔，UBM，焊盘

性能:                 可测量直径、宽度、长度、位置偏差

准确率：              0.2um

重复性：              0.2um，3σ

较小标的尺寸：        10um