Ø 北京亚科晨旭科技有限公司成立于1998年
Ø 业务领域:半导体前道设备、微电子封装设备、电装设备
Ø 公司宗旨:专业服务•全面服务
Trymax 等离子系统,等离子清洗机,等离子去胶机,等离子活化机 Trymax NEO 3000 Series 3000自动系列
应用范围:
半导体工艺活化、去胶、清洗等
产品主要特点:
灵活性强,拥有8/12寸设备供选择,同时又可以提供半自动和全自动设备
稳定低温活化、清洗工艺
发射源选择性强,总共提供四种不同的发射源
稳定成熟的低温工艺
• 特征
- 高达300毫米晶圆尺寸/基板尺寸
- 2或3台SMIF
- 5轴双臂机械手
- 选择4个不同的流程模块:
•微波
•RF
•双源(微波,射频)
•DCP(RF,直接耦合等离子体)
- 优异的均匀性和重复性
- 产能> 300wph
- 占地面积小
- 基于Windows的工业计算机