RAITH电子束曝光设备：专业电子束曝光系统VOYAGERTM

专业电子束曝光系统

快速、智能、创新、经济！

高性能电子束曝光系统

新一代电子束曝光系统

高速且价格合理的电子束光刻机实现精确的曝光效果

对于工业界和学术界所有关注速度和高分辨的电子束曝光应用，我们推荐您选择VOYAGERTM这款专业电子束曝光系统。

Raith非常重视这款具有吸引力的在使用寿命期间具有高性价比、新开发的、创新的eWRITE体系结构。

系统的硬件和软件被一致设计为自动曝光操作，先进的高性能图形发生器和电子光学系统优化设计并协同一致。

系统可实现8英寸样品的高速曝光。系统的稳定性是非常关键的指标，可保证大面积均匀曝光。该系统外部采用环境屏蔽罩，即使在稍差的实验室环境下，仍然能确保系统具有非常好的热稳定性，提高系统对外界环境的容忍度。

**高分辨率曝光系统

00001. 从较初设计到样品制备完成，实现高速样品加工，提高产量

00002. 智能设计：设备占地面积小，且集成环境屏蔽罩

00003. 创新的、未来安全型系统架构

00004. 专业的电子束曝光系统，可实现每小时1cm2的高速曝光，高性价比

eWrite技术

Raith新推出的eWrite技术结合了专业电子束光刻的光学系统和创新的图形发生器设计，该技术适用于研发及批量生产的所有工作。

VOYAGER 应用

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HSQ胶上制作亚7nm线条