CER组合椭偏仪 SE 500advanced

CER组合椭偏仪  SE 500advanced

迄今为止较简单易用的椭偏仪

SE 500adv结合椭偏测量和反射测量

可消除椭偏测量对透明膜厚度的周期不确定性

膜厚测量范围可扩展至25000 nm.

技术指标:

激光波长632.8 nm

反射计光谱范围450 nm-920 nm

光斑直径80 μm

150 mm (z-tilt)样品台

角度计，可变入射角度，步进5°

LAN连接电脑

CER组合椭偏仪SE 500advanced可作为激光椭偏仪，CER组合式椭偏仪或反射膜厚仪FTPadvanced操作。比常规激光椭偏仪有更好的适应性。

作为椭偏仪操作

单角度和多角度测量，可测量较多三层膜的厚度和光学参数，测量波长632.8nm，有的测量精度。

作为反射式膜厚仪FTPadvanced操作

白光正入射测量，可测量透明膜或弱吸收薄膜，厚度可达25μm。配置更先进的软件FTPexpert后能够测量多层膜。

作为CER组合椭偏仪操作

解决了透明膜的周期不确定性问题，并由于确定的膜厚周期，折射率测量精度显著增加。可测量透明膜的Cauchy系数。